출력광 펄스의 에너지 및 반복율의 조정이 가능한 템포럴멀티플렉싱 레이저 장치

Abstract

본 발명은 출력광 펄스의 에너지 및 반복율의 조정이 가능한 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치에 관한 것으로, 진동수 발진기; 레이저 광을 발진시키는 제 1, 2, ... n-1, n의 레이저 발진부; 상기 진동수 발진기와 레이저 발진부 사이에 각각 위치하여 등시간 간격으로 해당 레이저 발진부에서 레이저 빔이 발진되도록 하는 제 1, 2, ... n-1, n의 지연 발생기; 상기 레이저 발진부의 후단에 각각 설치되어 레이저 발진부를 통과한 광을 S 편광으로 세팅시켜 투과시키는 제 1, 2, ... n-1, n의 선편광자; 및 상기 선편광자의 후단에 각각 설치되어 입사되는 S 편광은 반사시키고, P 편광은 투과시키는 제 1, 2, ... n-1, n의 편광빔 가르개를 포함하고, 상기 제 1 편광빔 가르개와 제 2 편광빔 가르개 사이의 광경로에는 입사된 S 편광을 90도 회전시키는 반파장판을 구비하고, 상기 제 2 편광빔 가르개 내지 제 n 편광빔 가르개 사이의 광경로에는 입사된 S 편광을 90도 회전시키는 포켈스셀을 구비하되, 상기 포켈스셀들은 해당 레이저 발진부와 동기화되도록 구성되어 해당 레이저 발진부가 발진될 때 작동이 이루어지도록 함으로써 펄스 에너지는 그대로 유지한 채 펄스 반복율을 n배 향상시킬 수 있다.또한, 본 발명에서는 상기 템포럴 멀티플렉싱 레이저 장치에서 레이저들을 그룹화함으로써 출력되는 펄스의 에너지도 양의 정수 배수로 조정 가능하다.