아조벤젠고분자의 방향성 광유체화 현상을 이용한 3차원 플라즈모닉 나노깔때기 구조 제작 방법 및 응용Method for fabrication of three-dimensional plasmonic nanofunnel arrays by means of directional photofluidization of azobenzene polymer and their applications

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본 발명은 원형(圓形)의 홀 아조벤젠(azobenzene) 고분자 어레이를 방향성 광유체화 현상을 이용하여 ‘깔때기 모양의 아조벤젠 고분자 어레이‘로 변형시키는 제1단계; 상기 깔때기 모양의 아조벤젠 고분자 어레이를 형틀로 이용하여 폴리디메틸실록산(PDMS)을 포함하는 고분자의 전구체와 경화제를 혼합한 용액을 투입하여, 60~80℃에서 경화시킨 후, 깔때기 모양의 고분자 어레이를 역(易)복사한 모양을 갖는 고무 몰드를 수득하는 제2단계; 우레탄 계열의 전구체를 유리 위에 스핀 코팅하여 우레탄 계열의 전구체 필름을 수득하는 제3단계; 상기 고무 몰드를 상기 우레탄 계열의 전구체 필름위에 임프린트(imprint)한 후, 자외선을 조사하여 상기 우레탄 계열의 전구체 필름을 경화시킨 후, 상기 고무 몰드를 제거하는 제4단계; 를 포함하는 ‘깔때기 모양의 3차원 플라즈모닉 나노 팁 구조 어레이’의 제작방법 및 상기 방법으로 제작된 ‘깔때기 모양의 3차원 플라즈모닉 나노 팁 구조 어레이’를 표면 증폭 라만 산란(Raman scattering) 신호측정에 사용하는 방법에 관한 것이다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2013-06-07
Application Date
2010-11-17
Application Number
10-2010-0114538
Registration Date
2013-06-07
Registration Number
10-1274533-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/233787
Appears in Collection
CBE-Patent(특허)
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