띠형 기판 상의 박막 형성장치 및 박막 형성방법APPARATUS FOR FORMING THIN FILM ON A TAPE-TYPE SUBSTRATE AND METHOD FOR FORMING THE SAME
균일도가 뛰어난 고온초전도체 박막을 빠른 증착속도로 띠형 기판 상에 형성시키는 박막 형성장치 및 박막 형성방법에 대해 개시하고 있다. 본 발명은, 띠형 기판을 원통형상의 기판 홀더에 감아서 회전시키며 박막을 증착하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판 홀더의 크기를 크게 할 경우 띠형 기판의 길이를 길게 할 수 있고, 기판 전체에서 동시에 증착이 일어나므로 박막의 질이 매우 균일하며, 증착속도도 빠르다는 효과를 갖는다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2000-09-26
- Application Date
- 1998-09-30
- Application Number
- 10-1998-0040739
- Registration Date
- 2000-09-26
- Registration Number
- 10-0276003-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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