띠형 기판 상의 박막 형성장치 및 박막 형성방법 APPARATUS FOR FORMING THIN FILM ON A TAPE-TYPE SUBSTRATE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 96
  • Download : 0
균일도가 뛰어난 고온초전도체 박막을 빠른 증착속도로 띠형 기판 상에 형성시키는 박막 형성장치 및 박막 형성방법에 대해 개시하고 있다. 본 발명은, 띠형 기판을 원통형상의 기판 홀더에 감아서 회전시키며 박막을 증착하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판 홀더의 크기를 크게 할 경우 띠형 기판의 길이를 길게 할 수 있고, 기판 전체에서 동시에 증착이 일어나므로 박막의 질이 매우 균일하며, 증착속도도 빠르다는 효과를 갖는다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2000-09-26
Application Date
1998-09-30
Application Number
10-1998-0040739
Registration Date
2000-09-26
Registration Number
10-0276003-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/233750
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0