독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법 method for high-resolution AFM measurement for three dimensional structure of free-standing nano structure

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본 발명에 따른 독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법은 독립 나노 구조체의 주위에 미세 분자를 다층으로 성장시켜 상기 독립 나노 구조체를 고정하는 고정 단계; 상기 미세 분자를 열처리하여 상기 미세 분자의 표면을 평탄화시키는 평탄화 단계; 및 상기 독립 나노 구조체의 상부에 AFM 탐침을 배치하여 상기 독립 나노 구조체를 측정하는 측정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2013-12-27
Application Date
2013-02-20
Application Number
10-2013-0017895
Registration Date
2013-12-27
Registration Number
10-1347557-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/233580
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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