금속패턴 형성방법 METHOD OF FORMING A METAL PATTERN

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금속패턴 형성방법에서, 기판 상에 금속 잉크층을 형성한다. 상기 금속 잉크층이 형성된 상기 기판을 가열하고, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성하고, 상기 기판의 상부에서 조사된 레이저가 상기 보호층을 통과하여 상기 금속 잉크층을 패터닝하며, 상기 보호층 및 상기 금속 잉크층을 제거하여 금속 패턴을 잔류시킨다. 이와 같이, 상기 금속 잉크층 상에 보호층을 형성한 후, 레이저 패터닝 공정을 수행하므로, 상기 금속 잉크층이 공기 중의 산소, 수분 또는 외부의 광과 직접 접촉하는 것이 방지되어, 상기 레이저 패터닝을 통한 금속 패턴의 형성시 균일성이 향상될 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2014-05-08
Application Date
2012-10-12
Application Number
10-2012-0113607
Registration Date
2014-05-08
Registration Number
10-1394968-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/233530
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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