미소입자 처리 장치Particle Processing Device

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미소입자 처리 장치는 제1 방향으로 연장하는 유로, 상기 유로의 일측부로부터 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 돌출 형성되는 우회로, 및 상기 유로로부터 상기 우회로까지 연장하며 상기 유로와 상기 우회로의 내부로 변형 가능한 가변형 박막을 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2015-01-05
Application Date
2012-12-03
Application Number
10-2012-0138911
Registration Date
2015-01-05
Registration Number
10-1480753-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232928
Appears in Collection
BiS-Patent(특허)
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