레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법 Method of manufacturing surface plasmonic color filter using laser interference lithography

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표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, (b) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (c) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (d) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (e) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원,고려대학교 산학협력단
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2015-08-28
Application Date
2014-05-16
Application Number
10-2014-0059166
Registration Date
2015-08-28
Registration Number
10-1550008-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232718
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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