미소간극 내 자기장을 이용한 탄소나노튜브 정렬방법과이를 이용한 탄소나노튜브 팁 제작방법 A carbon nanometer tube aligning method using magneticfield in an microgap and a carbon nanometer tube tipmanufacturing method using thereof

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본 발명은 미소간극 내 자기장을 이용한 탄소나노튜브 정렬방법과 이를 이용한 탄소나노튜브 팁 제작방법에 관한 것으로, 여자부가 대칭 배치된 규소기판을 준비하는 단계와, 상기 각 여자부의 사이로 미소간극을 갖도록 상기 규소기판 위에 금속재질의 마이크로 구조물을 대칭 증착하는 단계와, 상기 각 여자부 사이에 일방향으로 자기장을 형성하여 상기 마이크로 구조물을 자화시키는 단계와, 에탄올 내에서 초음파 분해된 탄소나노튜브를 상기 미소간극에 투여하여 상기 자기장의 형성방향을 따라 자화 배향시키는 단계 및 상기 에탄올이 증발될 때까지 건조하는 단계를 포함하고, 탄소나노튜브의 팁의 제작을 위해 정렬된 탄소나노튜브를 초미세탐침의 첨단에 부착시키는 단계와, 직류전압을 가해 고착화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 탄소나노튜브, 미소간극, 자기장, 규소기판, 초미세탐침, 정렬방법
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2006-03-15
Application Date
2003-07-11
Application Number
10-2003-0047314
Registration Date
2006-03-15
Registration Number
10-0563253-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232380
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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