마이크로 프리즘 미러가 포함된 미세유체 채널 및 그 제조방법 MICRO-PRISM MIRROR EMBEDDED MICROFLUIDIC CHANNEL AND MANUFACTURING METHOD FOR THE MICROFLUIDIC CHANNEL

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낮은 비용으로 고품질의 마이크로 프리즘 미러를 제조할 수 있는 방법 및 이와 같이 제조된 마이크로 프리즘 미러와 미세유체 장치가 개시된다. 마이크로 프리즘 미러의 제조방법은, 실리콘 질화막이 형성된 실리콘 웨이퍼를 에칭하여 직각이등변삼각형 형상의 V자형 트렌치가 형성된 Si 마스터 몰드를 형성하는 단계, 상기 마스터 몰드를 복제하여 PDMS(polydimethyl siloxane) 금형을 형성하는 단계, 상기 PDMS 금형을 PDMS 플레이트 상에 배치하여 미세유체 채널을 형성하는 단계, 상기 미세유체 채널에 UV 경화성 고분자(UV curable polymer)를 충진시켜서 경화시켜서 마이크로 프리즘을 형성하는 단계 및 상기 마이크로 프리즘의 빗변에 반사물질을 코팅하여 반사코팅막을 형성하는 단계를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2015-10-20
Application Date
2014-03-27
Application Number
10-2014-0036208
Registration Date
2015-10-20
Registration Number
10-1563190-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232236
Appears in Collection
NT-Patent(특허)
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