3차원 탐침 및 그 제조 방법THREE DIMENSION PROBE AND ITS FABRICATION METHOD
본 발명은 3차원 탐침 및 그 제조 방법, 3차원 탐침 제조용 적층체에 관한 것으로, 탐침기판층의 상부에 유효탐침층, 탐침헤드층 및 탐침보호층을 순차 적층한 후 적층체 모재를 추출하는 단계와, 상기 추출된 적층체 모재에 캔틸레버 선단부를 접합하는 단계와, 상기 캔틸레버 선단부 및 적층체 모재를 원기둥 형태로 밀링 가공하는 단계와, 상기 탐침보호층을 제거한 후, 상기 유효탐침층을 기 설정된 깊이만큼 식각하는 단계를 포함함으로써, 물질 또는 재료의 특성에 대한 3차원 측정을 위해 유효탐침부의 상부에 탐침헤드가 돌출 형성되어 3차원 정밀 측정을 수행하는 3차원 탐침을 제조할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-12-18
- Application Date
- 2015-05-19
- Application Number
- 10-2015-0069515
- Registration Date
- 2015-12-18
- Registration Number
- 10-1580269-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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