선격자 편광판용 나노패턴 몰드 및 이의 형성 방법

Abstract

본 발명은 디스플레이 장치용 선격자 편광판을 제조함에 있어 대면적에 고속으로 균일한 나노미터 크기의 패턴을 형성하기 위한 것으로, 기판에 제1 절연막을 형성하는 단계와, 제1 절연막 상에 실리콘막과 제2 절연막을 순차적으로 적층하는 단계와, 제2 절연막 상에 주기 T를 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 제2 절연막과 실리콘막을 차례대로 식각하는 단계와, 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계와, 식각된 실리콘막의 측벽을 산화하여 산화막 패턴을 형성하는 단계, 및 제2 절연막과 실리콘막을 제거하는 단계를 포함하여 형성된 선격자 편광판용 나노패턴 몰드 및 이의 형성방법을 제공한다. 선격자 편광판, 나노패턴, 몰드, 실리콘 산화