투명전기발열체, 투명저항소자 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 투명한 투명전기발열체, 투명저항소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 투명전기발열체는 투명기판과; 상기 투명기판 표면의 적어도 일부에 형성된 투명저항소자를 포함하고, 상기 투명저항소자는 티타늄산화물을 주성분으로 포함하는 것을 특징으로 하고, 투명저항소자는 티타늄산화물을 주성분으로 포함하는 것을 특징으로 하고, 투명저항소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 표면의 적어도 일부에 투명저항소자를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 투명저항소자를 형성하는 단계는 전구체로서 티타늄(Ti)을 포함한 유기화합물을 화학기상증착법(CVD ; Chemical Vapor Deposition), 유기금속 화학기상증착법(MOCVD ; Metal Organic Chemical Vapor Deposition), 원자층 증착법(ALD : Atomic Layer Deposition), 저기압 화학기상증착법(LPCVD ; Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 및 플라즈마 화학기상증착법(PECVD ; Plasma Enhanced Vapor Deposition) 중에서 선택된 1종의 방법으로 증착하는 것을 특징으로 한다.티타늄산화물, 저항재료, 투명, 투명전기발열체, 투명저항소자.