가변형 인터디지털 캐패시터 및 그 제조방법TUNABLE INTER-DIGITAL CAPACITOR AND METHOD FORMANUFACTURING THEREOF

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본 발명은 가변형 인터디지털 캐패시터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며, 상면에 접지선 및 신호선을 포함한 인터디지털 캐패시터의 전극패턴 홈이 형성된 제1 유전체층과, 상기 제1 유전체층의 상면에 형성된 접지선 및 신호선을 포함한 인터디지털 캐패시터의 전극패턴 홈 내에 형성되는 전극용 금속패턴과, 상기 접지선 및 신호선의 일부분을 제외한 상기 전극용 금속패턴의 전체를 감싸도록 상기 제1 유전체층의 상면에 형성되는 제2 유전체층을 포함함으로써, 가변 인터디지털 캐패시터의 가변성(tunability)을 증가시킬 뿐만 아니라 동작전압을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.가변형 인터디지털 캐패시터, 강유전체, 상유전체, 접지선, 신호선
Assignee
한국정보통신대학교 산학협력단
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2008-07-04
Application Date
2006-08-23
Application Number
10-2006-0079993
Registration Date
2008-07-04
Registration Number
10-0845642-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/231361
Appears in Collection
RIMS Patents
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