폴리머 주형, 그 제조방법, 이를 이용한 미세유체 채널 및 그 제조방법Polymer template, manufacturing method for the same, and microfluidic channel using the same and manufacturing method for the microfluidic channel
폴리머 주형, 그 제조방법, 이를 이용한 미세유체 채널 및 그 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따른 폴리머 주형 제조방법은 곡면 구조의 폴리머 주형 제조방법으로, 기판에 포토레지스트를 도포하는 단계; 상기 포토레지스트를 제 1 열처리하는 단계; 상기 포토레지스트를 패터닝하여, 수직 구조의 폴리머 주형을 형성하는 단계; 상기 수직 구조의 폴리머 주형을 제 2 열처리하여, 상기 주형의 표면을 곡면으로 전환시키는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 폴리머 주형의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 폴리머 주형은 폴리머 내부에 존재하는 기포를 소정의 열처리를 통하여 제거시킴으로써 전체적으로 일정한 강도를 가지며, 우수한 곡면 구조를 갖는다. 더 나아가, 폴리머 주형 위에 금속 박막을 적층시킴으로써 폴리머-폴리머간 접착 문제를 제거할 수 있으며, 더 나아가 반응성 식각 공정에 의하여 위-아래가 연통하는 곡면 형상의 미세유체 채널을 제조할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-12-27
- Application Date
- 2012-03-23
- Application Number
- 10-2012-0030069
- Registration Date
- 2012-12-27
- Registration Number
- 10-1218486-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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