표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서Graphene Gas-Sensor using Surface Acoustic Wave
본 발명은 가스를 검출하는 가스센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 센서 소자에 흡착된 가스를 표면 탄성파 소자를 이용하여 탈착시키는 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2017-03-28
- Application Date
- 2014-12-31
- Application Number
- 10-2014-0194802
- Registration Date
- 2017-03-28
- Registration Number
- 10-1722460-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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