수직 나노선의 어레이를 포함하는 렌즈 구조 및 이의 제조방법과 이를 이용하여 제작된 렌즈

Abstract

실리콘 등의 수직 나노선 어레이(Array)을 제작하되, 단지 그 충전율(Fill factor)만 조절하여도 광학적 렌즈의 특성을 갖는 구조를 형성할 수 있다. 따라서, 렌즈 자체의 높이 등 크기가 소형화될 수 있고, 기존의 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor) 반도체 공정인 리소그라피 과정 및 에칭 과정 등을 통해 간단히 렌즈를 구현할 수 있다. 실리콘 등의 유전 상수가 공기와 큰 차이를 보이기 때문에 초점 거리가 짧은 렌즈의 구현도 가능하며, 내부가 비어있기 때문에 가벼운 렌즈의 제작이 가능해진다.또한, 상기의 방법을 이용하여 렌즈를 형성하게 되면, 그 넓이와 높이를 자유자재로 조절하여 렌즈의 크기와 초점을 원하는 만큼 조절할 수 있다.상기 수직 나노선은 금속 촉매 식각 방법, 건식 식각 방법, VLS(vapor-liquid-solid method) 성장 방법 등을 포함하는 하향식(top-down) 방식 또는 상향식(bottom-up) 방식 등의 다양한 방법을 통하여 간단히 제작가능할 것이다.