광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법, 이에 의하여 제조된 나노구조체 및 그 응용Method for manufacturing nanostructure on micro-pattern using directional photofluidization, nanostructure manufactured by the same and application of the same
투명 기판상에 방향성 광유체화 특성을 갖는 고분자로 이루어진 3차원 마이크로 패턴을 형성시키는 단계; 및 상기 형성된 3차원 마이크로 패턴에 광을 조사, 상기 고분자를 광유체화시켜 나노구조체를 형성하는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 조사되는 광의 종류, 조사 방향 또는 조사 각도에 따라 상기 3차원 고분자 패턴 상에 제조되는 나노구조체의 영역 또는 패턴이 제어되는 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법이 제공된다. 본 발명에 따르면, 높이가 다른 마이크로 패턴 표면에 방향성 광유체화 현상을 이용, 나노구조체를 선택적으로 기록/삭제할 수 있으며, 이로써 여러 개의 플라즈모닉 특성을 한곳으로 집적시켜, 규칙적으로 배열된 플라즈모닉 칼라필터/디스플레이의 실용화에 기여할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-09-26
- Application Date
- 2013-06-28
- Application Number
- 10-2013-0075912
- Registration Date
- 2014-09-26
- Registration Number
- 10-1447085-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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