용매 어닐링 방법, 이를 이용한 블록 공중합체 패턴 형성 방법 및 이에 의하여 제조된 블록 공중합체 패턴Method for solvent annealing, method for forming block copolymer pattern using the same and block copolymer pattern formed by the method for forming block copolymer pattern using the same

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블록 공중합체 패턴 형성 방법으로, 기판 상에 도포된 블록 공중합체에 유기 용매가 흡수된 어닐링 패드를 접촉시키는 단계; 및 상기 어닐링 패드로부터 방출되는 유기 용매에 의하여 상기 블록 공중합체가 자기조립되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법이 제공된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2014-10-02
Application Date
2013-05-21
Application Number
10-2013-0056998
Registration Date
2014-10-02
Registration Number
10-1449850-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229597
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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