광공진기를 이용한 무게 측정 장치 및 그 측정 방법APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING WEIGHTS WITH AN OPTICAL CAVITY
본 발명은 광공진기를 이용한 피측정물의 무게를 측정하는 장치로서, 피측정물의 하중에 의해 움직이는 적어도 두 개의 거울을 포함하는 광공진부; 상기 광공진부에서 출력되는 광을 검출하는 광검출부; 및 상기 광검출부에서 검출되는 신호에 기초하여 상기 광공진부의 공진주파수를 측정하여 상기 피측정물의 무게를 판단하는 무게판단부를 포함한다.이에 의해 고정밀도의 무게 측정이 가능하다.
- Assignee
- 한국과학기술원,주식회사 카스
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2015-09-17
- Application Number
- 10-2015-0131744
- Registration Date
- 2016-07-25
- Registration Number
- 10-1643914-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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