패턴 전사 시스템 및 패턴 전사 방법 SYSTEM AND METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN

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본 발명은 패턴 전사 시스템 및 패턴 전사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 전사 시스템은, 그 일면 상에, 광을 흡수하여 열을 발생시키는 광열변환층 및 전사재료를 증착시킨 전사재료층이 차례로 형성된 투명 플레이트, 그 상면을 전사재료층과 간격을 두고 대향하여 위치시킨 기판, 기판의 하면에 설치되고, 진동을 발생시키는 진동 모듈을 포함하고, 진동 모듈로부터 기판으로 향하는 방향으로 진동을 전달하며, 투명 플레이트로부터 기판으로 향하는 방향으로 레이저 광을 주사하여, 전사재료를 기판의 상면으로 전사한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-07-28
Application Date
2008-10-08
Application Number
10-2008-0098814
Registration Date
2010-07-28
Registration Number
10-0973681-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/229024
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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