초음파 가진을 이용한 전사 시스템 및 전사 방법 TRANSFER SYSTEM AND TRANSFER METHOD USING ULTRASONIC VIBRATION

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 84
  • Download : 0
본 발명은 초음파 가진을 이용한 전사 시스템 및 전사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초음파 가진을 이용한 전사 시스템은, 초음파 진동을 발생시키는 초음파 가진기, 초음파 가진기로부터의 초음파 진동을 전달하는 글래스, 글래스의 하부에 형성되고, 전사될 전사 재료가 증착되어 있는 플레이트, 플레이트의 하부에 형성되고, 전사 재료가 전사되어 패턴이 형성되는 기판을 포함하며, 초음파 가진기에서 발생된 초음파 진동이 글래스의 소정부위에 전달되고, 전달된 초음파 진동에 의하여 플레이트에 증착되어 있는 전사 재료가 기판으로 전사되어, 기판에 패턴이 형성된다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2010-05-31
Application Date
2008-08-28
Application Number
10-2008-0084241
Registration Date
2010-05-31
Registration Number
10-0961974-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228977
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0