질소 원자가 선택적으로 도핑된 ＴｉＯ2-ｘＮｘ 나노튜브 및 그의 제조방법

Abstract

본 발명은 TiO2-xNx(0.01≤x≤0.2) 나노튜브 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 질소 가스로 형성된 플라즈마를 이용하여 TiO2 나노튜브를 처리함으로써 TiO2 구조에서 산소를 부분적으로 질소로 치환하는 공정에 의하여 질소를 원자 단위로 도핑하는 TiO2-xNx 나노튜브의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 TiO2 나노튜브에 질소가 도핑됨으로써 전자구조가 조절되어 밴드갭(band gap)이 감소함으로 인하여 전도성이 향상되고 광흡수 영역 또한 자외선에서 가시광선 영역으로 확장되어 광, 전기 화학적으로 보다 향상된 응용 성능을 갖는 TiO2-xNx 나노튜브를 제공한다. 이산화티타늄(TiO2) 나노튜브, 플라즈마, 질소 도핑, TiO2-xNx 나노튜브