마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터 및 이를이용한 응용소자

Abstract

본 발명은 마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS)을 이용한 가변 인덕터 및 이를 이용한 응용 소자 등에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터, 가변 수동소자, 가변 변압기 및 응력측정장치 등에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터는 절연기판 및 절연기판상에 형성되고, 이격거리가 변화되도록 위치 이동되는 평행한 유동도선이 반복적으로 형성된 유동도선부를 포함한다. 본 발명에 따른 마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터는 서로 인접한 유동도선들이 평면적인 미앤더 형태에서 입체적인 솔레노이드 형태 사이에서 자유롭게 변형됨으로서, 인덕턴스의 변화률을 증가시킬 수 있다. 마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS), 가변 인덕터(Variable Inductor), 가변 변압기(Variable Transformer), 응력 센서