우수한 기계적 결착성을 가지는 금속산화물 나노섬유, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 가스 센서

Abstract

본 발명은 기계적으로 결착성이 우수한 금속산화물 나노섬유, 그의 제조 방법 및 이를 포함하는 가스 센서에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 점성이 높은 실란계 또는 유기물 기반의 바인더를 1차원 구조를 가지는 금속산화물 나노섬유 감지소재와 복합화 시킴으로써, 기판과 1차원 구조를 가지는 금속산화물 나노섬유와의 결착력을 향상시켜 기계적으로 안정적이고 신뢰적인 반도체식 가스 센서를 개발하는 것을 특징으로 한다. 특히, 실란계 또는 유기물 기반의 바인더는 고온 열처리 과정을 거치면서 경화되는 과정을 거치게 되고, 기판의 상단 또는 감지소재의 하단부분으로 선택적으로 결착되는 것을 특징으로 인하여 금속산화물과 기판의 결착력을 높이는 것을 특징으로 한다. 또한, 감지소재의 두께방향으로 하단부에 바인더가 위치함으로써 금속산화물 감지소재 상단부가 가스에 노출되는 면적이 극대화 되며, 금속산화물 나노섬유와 나노섬유 사이에 열린 기공을 형성하여 가스가 쉽게 침투할 수 있는 공간을 제공함으로써 고감도 가스감지 특성을 나타냄으로써, 고감도 날숨 감지 센서 및 우수한 유해환경 센서에 적용될 수 있다.