탄소 성분의 감지부를 구비한 바이오 센서Bio-sensor having sensing unit made from nano-sized resist-derived carbon
본 발명은 생체 분자를 검출하는 바이오 센서에 관한 것으로, 보다 구체적으로 나노 크기로 제조된 열분해 탄소 성분의 감지부를 구비하는 바이오 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 사진식각 공정을 통해 나노 크기의 감지부 패턴을 형성하고 형성한 감지부 패턴을 열분해하여 탄소 성분의 감지부를 형성함으로써, 나노 크기의 감지부를 구비하는 바이오 센서를 간단한 공정으로 저렴하게 제조할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 바이오 센서는 감지부와 생체 분자의 접촉을 용이하도록 하기 위한 노출창을 구비하고 있으며 감지부와 기판 사이에 빈 공간을 형성함으로써, 생체 분자를 정확하게 검출할 수 있다.
- Assignee
- 한국표준과학연구원,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2009-11-12
- Application Date
- 2007-11-26
- Application Number
- 10-2007-0121047
- Registration Date
- 2009-11-12
- Registration Number
- 10-0927616-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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