열분해 탄소 성분의 나노 크기를 가지는 바이오 센서의감지부를 제작하는 방법Method for manufacturing sensing unit made from nano-sized resist-derived carbon
본 발명은 생체 분자를 검출하는 바이오 센서의 감지부를 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 열분해 탄소 성분의 소정 나노 크기의 패턴을 가지는 감지부를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 감지부의 제작 방법은 사진식각 공정을 통해 나노 크기의 감지부 패턴을 형성하고 형성한 감지부 패턴을 열분해하여 탄소 성분의 감지부를 제조함으로써, 나노 크기의 임의 패턴을 가지는 감지부를 저렴한 비용과 간단한 공정으로 제작할 수 있다.
- Assignee
- 한국표준과학연구원,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2009-11-12
- Application Date
- 2007-11-26
- Application Number
- 10-2007-0121048
- Registration Date
- 2009-11-12
- Registration Number
- 10-0927617-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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