금속 도핑된 강유전체 필름에 전기장 인가를 통한 편광필름 제작장치 및 그에 따른 제작방법Fabrication method and apparatus of thin film polarizerby applying electric field to metal-dopedferroelectric film

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본 발명은 금속 도핑된 강유전체 필름에 전기장 인가를 통한 편광 필름 제작장치 및 그에 따른 제작방법에 관한 것으로, 금속 도핑된 강유전체 물질을 필름 등의 광학 소자상에 직접 증착 또는 코팅처리하되, 전압을 발생시켜 필름 등의 광학 소자에 전기장을 평행하게 인가함으로써 광학 소자에 광학적 이방성(Optical Anisotropy)을 유도하여 기본적인 내구성, 기계적 강도, 열에 대한 특성을 우수하게 향상시킬 수 있고, 넓은 면적으로 제작할 경우, 편광도를 균일하게 유지할 수 있는 특성을 갖으며, 전기장만을 인가하여 편광 필름을 제작하도록 이루어짐으로써 공정 과정에서 흡착이나 패턴 제작 등 별도의 과정이 필요치 않아 생산성 측면에서 우수한 장점을 갖고, 인가되는 전기장을 조절함으로써 편광도를 간편하게 조절할 수 있어 여러 가지 다양한 새로운 소자에 응용이 가능하여 사용 범위 및 응용 가능성의 확대가 가능한 금속 도핑된 강유전체 필름에 전기장 인가를 통한 편광 필름 제작장치 및 그에 따른 제작방법를 제공하기 위한 것으로서, 그 기술적 구성은 편광 필름을 제작하는 장치에 있어서, 내부에 소정의 공간을 갖되, 진공을 이루는 PLD 챔버; 상기 PLD 챔버의 중심부에 구비되는 시료 기판 홀더; 상기 시료 기판 홀더의 하부에 위치하는 필름 기판; 상기 필름 기판에 전압을 인가하여 전기장을 발생시키는 전기장 인가장치; 및 상기 PLD 챔버의 내부 하측에 구비되되, 상기 시료 기판 홀더의 하측에 위치하는 시료 증착 기구; 를 포함하는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Assignee
한국프라마스(주),한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2007-08-31
Application Date
2006-06-14
Application Number
10-2006-0053500
Registration Date
2007-08-31
Registration Number
10-0756427-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/227950
Appears in Collection
RIMS Patents
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