마이크로스트럭쳐 반도체 기술을 이용한 1D-1R 구조의 플렉서블 RRAM의 제작 및 특성평가 = Fabrication and characterization of 1D-1R structure flexible RRAM on plastic substrate using $\mu s$-Sc technology

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 480
  • Download : 0
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisor이건재-
dc.contributor.advisorLee, Keon Jae-
dc.contributor.author유현균-
dc.contributor.authorYoo, Hyeon Gyun-
dc.date.accessioned2017-03-29T02:35:36Z-
dc.date.available2017-03-29T02:35:36Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.urihttp://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=657247&flag=dissertationen_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/221590-
dc.description학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2012.2 ,[viii, 72 p. :]-
dc.description.abstract비휘발성 메모리 적용을 위해 원다이오드-원레지스터 구조의 플렉서블 RRAM를 제작하였다. 메모리 성분은 $Al/Cu_xO/Cu$ 의 MIM 구조이며 스위칭 성분은 실리콘 p-n 접합 다이오드를 이용하였다. $Cu_xO$ 막은 플라즈마 옥시데이션 방식으로 제조되었으며, 제작된 MIM 구조의 저항 변화 메모리는 일극성 저항 변화 메모리 특성을 나타내었다. 플렉서블 다이오드 제작을 위해 마이크로스트럭쳐 반도체 기술 ($\mu s$-Sc technology) 을 적용하였으며 제작된 플렉서블 다이오드의 고성능의 정류특성을 나타내었다. 모든 공정은 기존의 실리콘 반도체 공정 기술과 호환이 가능한 장점을 가진다. 플렉서블 1D-1R 구조의 RRAM의 내구성 테스트 결과 100회 이상의 안정적인 스위칭 싸이클에도 안정적인 저항스위칭 특성을 보여주었으며, 메모리 보존성 테스트 결과 10000초 동안 높은 저항상태와 낮은 저항상태의 각각의 저항값을 유지하였다. 게다가, 플렉서블 1D-1R RRAM은 다이오드의 정류특성으로 인하여 크로스 포인트구조 적용되었을 때, 크로스포인트 구조의 크로스토크 문제를 예방할 수 있다. 이러한 측정 결과들은 몸에 입을 수 있는 플렉서블 전자소자에 필수 성분으로써 몸에 입거나 구부릴 수 있는 플렉서블 전자소자에 적용가능한 플렉서블 메모리의 가능성을 보여주고 있다.-
dc.languagekor-
dc.publisher한국과학기술원-
dc.subject카파옥사이드-
dc.subject저항변화메모리-
dc.subject플렉서블-
dc.subject원다이오드-원레지스터-
dc.subject마이크로스트럭쳐 반도체-
dc.subject$Cu_xO$-
dc.subjectRRAM-
dc.subjectFlexible-
dc.subject1D-1R-
dc.subject$\mu s$-Sc-
dc.title마이크로스트럭쳐 반도체 기술을 이용한 1D-1R 구조의 플렉서블 RRAM의 제작 및 특성평가 = Fabrication and characterization of 1D-1R structure flexible RRAM on plastic substrate using $\mu s$-Sc technology-
dc.typeThesis(Master)-
dc.identifier.CNRN325007-
dc.description.department한국과학기술원 :신소재공학과,-
Appears in Collection
MS-Theses_Master(석사논문)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0