경도 패턴화 공정 및 자발적 접힘 구조화를 이용한 3 차원 금속 – 탄성체 복합구조 제작 및 응용

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Publisher
(사)마이크로나노시스템학회
Issue Date
2015-04-02
Language
Korean
Citation

제 17회 한국 MEMS 학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/205035
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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