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(A) research on vacuum packaging technology and pirani pressure sensor for uncooled infrared sensor = 비냉각 적외선 센서용 진공 패키징 기술 및 피라니 압력 센서에 관한 연구link Shim, Hyun-Bin; 심현빈; et al, 한국과학기술원, 2011 |
(A) research on vacuum packaging technology and pirani pressure sensor for uncooled infrared sensor = 비냉각 적외선 센서용 진공 패키징 기술 및 피라니 압력 센서에 관한 연구link Shim, Hyun-Bin; 심현빈; et al, 한국과학기술원, 2011 |
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