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a-Si 태양전지 기판용 ZnO:Al 투명전도막의 수소 플라즈마 내구성

임굉수researcher; 송진수; 강기환; 조우영; 윤경훈, 대한전자공학회 학술대회 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회), pp.313 - 314, 1994-01-01

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