최적화된 Zn Diffusion 과 p-type Ohmic Contact 공정을 이용한 광통신용 Planar-type InGaAs/InP Avalanche Photodiode 의 제작 및 특성 분석Fabrication and Characterization of Planar-type InGaAs/InP Avalanche Photodiodes using Optimized Zn Diffusion and p-type Ohmic Contact for Optical Communications