Fabrication of a uniform microlens array over a large area using self-aligned diffuser lithography and its application자기정렬 디퓨저 리소그래피를 이용한 대면적의 균일한 마이크로렌즈 어레이 제작 및 이의 응용
- Advisors
- Yoon, Jun-Boresearcher; 윤준보
- Description
- 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2012
- Identifier
- 486733/325007 / 020103188
- Language
- eng
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과, 2012.2, [ vi, 42 p. ]
- Keywords
3D diffuser lithography; Microlens array(MLA); self-aligned metal mask; self-aligned diffuser lithography; 마이크로렌즈 어레이; 3차원 디퓨저 리소그래피; 자기정렬 금속 마스크; 자기정렬 디퓨저 리소그래피; 균일도; uniformity
- Appears in Collection
- EE-Theses_Master(석사논문)
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