3차원 리소그래피 기술 및 패턴 전사 기술을 이용한 다양한 3차원 미소구조체 제작

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Issue Date
2006-04-06
Language
KOR
Citation

제8회 한국MEMS 학술대회, pp.537 - 540

URI
http://hdl.handle.net/10203/140436
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)EE-Conference Papers(학술회의논문)
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