157 nm 광리소그래피 위상 변위막 (SiONF)의 passivation 막으로서의 a-Si 박막의 광학적 특성 분석 및 SE 분석
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 노광수 | - |
| dc.contributor.author | 김성관 | - |
| dc.contributor.author | 강명아 | - |
| dc.contributor.author | 손정민 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T21:45:22Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T21:45:22Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2002-01-01 | - |
| dc.identifier.citation | 한국재료학회 추계학술발표, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/136209 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | 157 nm 광리소그래피 위상 변위막 (SiONF)의 passivation 막으로서의 a-Si 박막의 광학적 특성 분석 및 SE 분석 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국재료학회 추계학술발표 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김성관 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강명아 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 손정민 | - |
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