커스프 자기장 초클랄스키 공정에서 조업 변수와 실리콘 단결정에 대한 유동장의 열적 영향과의 관계 연구

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Issue Date
1999
Language
KOR
Citation

한국화학공학회 학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/135513
Appears in Collection
CBE-Conference Papers(학술회의논문)
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