고 감지 전압을 이용한 가지전극 구조의 정전용량형 가속도계의 전기적 잡음 감소 및 자율 균형력 발생

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Issue Date
2001-04-13
Language
KOR
Citation

제 2회 한국 MEMS 학술대회, pp.96 - 103

URI
http://hdl.handle.net/10203/131653
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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