표면 미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계

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Issue Date
1997-07-21
Language
KOR
Citation

대한전기학회 하계학술대회, pp.2614 - 2616

URI
http://hdl.handle.net/10203/124178
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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