비교란 전기장 탐침을 이용한 rf 유도 플라즈마의 방전기작 연구

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Publisher
한국물리학회
Issue Date
1997
Language
KOR
Citation

1997 한국물리학회 봄 학술논문발표회, pp.138 - 138

URI
http://hdl.handle.net/10203/124106
Appears in Collection
PH-Conference Papers(학술회의논문)
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