E-beam Lithography 공정의 컴퓨터 모사를 위한 PMMA Resist의 Molecular Dynamics 계산을 통한 Monte-Calro 계산의 응용
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 노광수 | - |
| dc.contributor.author | 김기수 | - |
| dc.contributor.author | 문성용 | - |
| dc.contributor.author | 김대원 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-15T19:54:42Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-15T19:54:42Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1997-01-01 | - |
| dc.identifier.citation | 한국요업학회 추계학술발표대회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/123265 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국요업학회 | - |
| dc.title | E-beam Lithography 공정의 컴퓨터 모사를 위한 PMMA Resist의 Molecular Dynamics 계산을 통한 Monte-Calro 계산의 응용 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국요업학회 추계학술발표대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 노광수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김기수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 문성용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김대원 | - |
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