박막의 기울기 변형을 이용한 열공압 구동방식의 장행정 소형 액추에이터

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Issue Date
1997-04-26
Language
KOR
Citation

대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회, pp.157 - 166

URI
http://hdl.handle.net/10203/120669
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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