표면 미소 기전 시스템으로 구성되는 수평 공진, 감지형 서보 진동 자이로

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Issue Date
1997-04-26
Language
KOR
Citation

대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회, pp.299 - 309

URI
http://hdl.handle.net/10203/120653
Appears in Collection
BiS-Conference Papers(학술회의논문)
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