화학증착법으로 제조한 다이아몬드 막에서의잔류응력으로 인한 실리콘 기지의 크리프 변형 특성

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Issue Date
1998-01-01
Language
KOR
Citation

pp.492 - 498

URI
http://hdl.handle.net/10203/120615
Appears in Collection
MS-Conference Papers(학술회의논문)
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