퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어

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Publisher
대한전자공학회
Issue Date
1994
Language
KOR
Citation

한국 자동제어 학술회의 논문집, pp.997 - 1002

URI
http://hdl.handle.net/10203/105823
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)
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