| 70401 | ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가 노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01 |
| 70402 | ECR-MOCVD법을 이용한 PLZT박막의 제조 노광수, 한국재료학회 추계학술발표, 한국재료학회, 1995-01-01 |
| 70403 | ECR-PECVD 방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향 이원종, 한국요업학회 1993 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 70404 | ECR-PECVD PZT 박막의 FRAM 소자로의 응용에 관한 연구 = The study on the applicaions to FRAM with PZT thin film fabricated by ECR-PECVDlink 정수옥; Chung, Su-Ock; 이원종; 천성순; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 70405 | ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구 이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 70406 | ECR-PECVD 법으로 제조한 PZT 박막의 물성 연구 = Characteriszation of PZT thin films prepared by ECR-PECVDlink 김재환; Kim, Jae-Whan; 위당문; 이원종; et al, 한국과학기술원, 1996 |
| 70407 | ECR-PECVD 법으로 증착된 $Al_2O_3$ 박막의 증착 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics of the ECR-PECVD $Al_2O_3$ thin filmslink 이재균; Lee, Jae-Kuin; et al, 한국과학기술원, 1994 |
| 70408 | ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink 이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997 |
| 70409 | ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향 이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 70410 | ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구 이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
| 70411 | ECR-PECVD법을 사용한 ULSI DRAM 용 PZT 박막 제조 김재환; 신중식; 김성태; 노광수; 위당문; 이원종, 한국진공학회지, v.4, no.1, pp.145 - 150, 1995-04 |
| 70412 | ECR-PECVD법을 사용한 VLSI DRAM용 PZT박막제조 노광수; 김재환; 신중식; 김성태; 위당문; 이원종, 한국진공학회 추계학술발표대회, 한국진공학회, 1995-01-01 |
| 70413 | ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성비교 이원종; 전병혁; 김종석; 이응직; 백종태; 강상원, 한국요업학회 추계학술연구발표회 1994, pp.0 - 0, 1994-01-01 |
| 70414 | ECR-PEMOCVD법으로 제조한 $SrTiO_3$ 박막의 단차 피복성에 관한 연구 = A study on the step coverage of $SrTiO_3$ thin films fabricated using ECR-PEMOCVDlink 박순연; Park, Soon-Yon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 70415 | ECR-PEMOCVD법으로 증착한 SrTiO3 박막에 Ar carrier gas의 flow rate가 미치는 영향 노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 추계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01 |
| 70416 | ECR-PEMOCVD법을 이용한 $SrTiO_3$박막과 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 제조 및 특성분석 = Fabrication and characterization of $SrTiO_3$ and $BaSrTiO_3$ thin films using ECR-PEMOCVDlink 이준성; Lee, Joon-Sung; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 70417 | ECR-PEMOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가 노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 곽동화; 유병곤, 한국재료학회 추계학술발표, v.B31, 한국재료학회, 1995 |
| 70418 | ECR-PEMOCVD법을 이용한 ST thin film 증착시 Ti single source의 제어 노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 춘계학술발표, 한국요업학회, 1999-01-01 |
| 70419 | ECR-plasma가 TiO2 박막의 성장에 미치는 영향 이원종; 노광수; 이준성; 윤대성; 전병혁; 유병곤, 한국요업학회 춘계학술연구발표회 1995, pp.0 - 0, 한국요업학회, 1995-01-01 |
| 70420 | ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta2O5 박막의 유전 특성 조복원; 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.31, no.11, pp.1330 - 1336, 1994-04 |
